硅烷气体传感器模组

硅烷气体传感器是一种专门用于检测硅烷气体浓度的高精度设备,它在半导体工业、光伏产业以及化学工业中扮演着至关重要的角色。硅烷(SiH4)是一种高度易燃的气体,其在空气中的爆炸下限为1.37%,因此,实时监测硅烷气体的浓度对于保障生产安全和环境安全至关重要。例如,在半导体制造过程中,硅烷气体传感器能够确保硅烷气体的使用在安全的浓度范围内,避免因气体泄漏导致的潜在危险。根据国际半导体设备与材料协会(SEMI)的标准,硅烷气体传感器必须具备高灵敏度和快速响应时间,以实现对硅烷气体浓度的实时监控。此外,硅烷气体传感器在环境监测中的应用也日益广泛,例如,监测工业排放中的硅烷气体含量,以符合环保法规要求。通过精确的检测,硅烷气体传感器不仅提高了工业生产的安全性,也为环境保护提供了有力的技术支持。
★整机体积小,重量轻
★专业精选进口传感器,可以搭载电化学,催化燃烧,红外原理,热导原理的传感器。
★高精度, 高分辨率,响应迅速快.
★本安电路设计,可带电热拔插操作。
★数据恢复功能,免去误操作引起的后顾之忧.
★自动温湿度补偿功能,出厂精准标定,无须再使用标定。.
★模拟电压或电流和串口同时输出,方便客户调试和使用。
★***精密的电路设计和制造工艺,生产复杂,使用简单。
★可与电脑连接通讯,自行标定校准。
★自带零点微调功能,方便选定参照数据。
★低功耗产品,可移动电源供电可大量用于分析仪仪器,大气,环境无人机监测。
硅烷气体传感器模组 |
工作电压 | 5v/DC24V±5% | 波特率 | 9600,N,8,1 |
测量气体 | 硅烷气体 | 检测原理 | 电化学 |
采样精度 | ±%3F.S | 响应时间(T90) | <30S |
重复性 | ±1%F.S | 工作湿度 | 0-95%RH,(无冷凝) |
工作温度 | -20 ~ 50℃ | 长期漂移 | ≤±1%(F.S/年) |
存储温度 | -20 ~ 50℃ | 预热时间 | 10S |
工作电流 | ≤20mA | 工作气压 | 86kpa-106kpa |
安装方式 | 6脚拔插式 | 质保期 | 1年 |
输出接口 | 6PIN | 外壳材质 | ABS/铝合金 |
使用寿命 | 2年 | 外型尺寸(引脚除外) | 宽37.81 * 高46.6 |
测量范围 | 详见选型表 |
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输出信号 | RS485/4-20mA(标配)定制0.4-2.0、0-5v、0-10v、TTL |
